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旋轉涂覆與狹縫涂膠的對比

來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2020-03-27 | 2715 次瀏覽 | 分享到:

勻膠機（spin coater)旋轉涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比：Ａ：旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。（1）旋轉速度轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。目前轉速控制方面有國際認定標準，如美國NIST標準等。（2）真空吸附系統真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。Ｂ：狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等。狹縫涂布技術適用于各種涂布液，可廣泛應用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片涂布模具相對于基片精確地運動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。

勻膠機（spin coater)旋轉涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比：

Ａ：旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。

（1）旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。目前轉速控制方面有國際認定標準，如美國NIST標準等。

（2）真空吸附系統

真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。

Ｂ：

狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等。

狹縫涂布技術適用于各種涂布液，可廣泛應用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片

涂布模具相對于基片精確地運動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。

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